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            當前位置:首頁產品中心晶圓檢測內應力檢測儀

            內應力檢測儀

            產品簡介

            Strain Viewer 內應力檢測儀
            具備化合物晶圓內應力分布測量及缺陷篩查等檢測功能

            產品型號:
            更新時間:2025-09-18
            廠商性質:代理商
            訪問量:2682
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            Strain Viewer 內應力檢測儀

            優勢

            √ 基于雙折射應力測量模型實現應力瞬時測量,顯示應力二維分布偽彩圖

            √ 采用雙遠心檢測光路,相位延遲測量精度高

            √ 根據不同測量視場要求,多種鏡頭可選

            √ 訂制化樣品托盤,適應不同規格晶圓批量測試

            適用對象

            適用于三代化合物晶圓片、玻璃晶圓片、精密光學元件(平晶,棱鏡,波片,透鏡等)的內應力檢測

            適用領域

            面向化合物晶圓生產、光學精密加工等行業

            檢測原理

            √ 基于偏振光應力雙折射效應檢測晶圓材料內部應力分布。當晶體材料由于內部缺陷存在應力集中時會導致應力雙折射效應,偏振光透過它時會發生偏振態調制,通過測量透射光的斯托克斯矢量可以推算??材料的應力延遲量,從而得到材料內應力分布;

            √ 可同步集成晶圓表面缺陷暗場檢測和尺寸量測。




            實測案例

            內應力檢測儀

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            Strain Viewer技術規格

            內應力檢測儀



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