原位自動納米操作系統

原位自動納米操作系統技術特點

*兼容主流電鏡，不影響電鏡功能

運動定位性能：行程大、亞納米分辨率

位移傳感器集成自動化和可編程運動

SEM真空環境優化設計，可快速安裝與拆卸

原位自動納米操作系統技術能力

力學測量

LifeForce為納米材料的力學特性提供高分辨率的力和位移反饋，實例照片展示的是用球端AFM懸臂探針對硅納米線簇進行納米壓痕，以及對單根納米線的拉伸測試。

電學特性

LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音的電測量，以及與納米結構的原位相互連接。實例照片展示的是四探針測量納米線電學性能。

拾取和放置操作

使用末端工具（例如：探針、微納米夾持器、超 聲切割針），操作者能夠操作LifeForce納米操 作手在SEM電鏡內對微納米物體進行推、拉和 抓取等操作。

制作微納米器件

精密的操作手運動能夠實現微納米器 件的快速成型和后處理。實例照片展 示的是納米線FET傳感器的構造。

納米電子器件電學測量

LifeForce納米操作機是是市面上能夠自動探測電子 結構（范圍從亞微米，亞100nm及亞20nm）。只需要通過計算機點擊鼠標，將探測針定位到目標位置。低定位漂移，保證數據采集的可靠性。